onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258638"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258638" > Patterning of silic...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Patterning of silicon wafers using the plasma jet dry etching technique
- Barklund, AM (författare)
- Blom, Hans-Olof (författare)
-
- Berg, Sören (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
- visa fler...
- Bardos, L (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 1990
- 1990
- Engelska.
- Ingår i: Vacuum. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 41:4
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Barklund, AM
- Blom, Hans-Olof
- Berg, Sören
- Bardos, L
- Artiklar i publikationen
- Vacuum
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
