Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28716" >
Fabrication of tuna...
Fabrication of tunable InP/air-gap Fabry-Perot cavities by selective etching of InGaAs sacrificial layers
-
- Chitica, N (författare)
- MATERIALS SCIENCE/MST
-
Daleiden, J (författare)
-
Bentell, J (författare)
-
visa fler...
-
Andre, J (författare)
-
Strassner, M (författare)
-
- Greek, Staffan (författare)
- Uppsala universitet,Materialvetenskap
-
- Pasquariello, Donato (författare)
- Uppsala universitet,Materialvetenskap
-
- Karlsson, Mikael (författare)
- Uppsala universitet,Materialvetenskap
-
- Gupta, Ram (författare)
- Uppsala universitet,Materialvetenskap
-
- Hjort, Klas (författare)
- Uppsala universitet,Materialvetenskap
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- ROYAL SWEDISH ACAD SCIENCES, 1999
- 1999
- Engelska.
-
Ingår i: Physica scripta. T. - : ROYAL SWEDISH ACAD SCIENCES. - 0281-1847. ; T79, s. 131-134
- Relaterad länk:
-
http://iopscience.io...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report the fabrication of InP/air-gap Fabry-Perot resonant cavities with an improved tunability characteristic achieved through the micromachining of more flexible suspended InP beams. The micromechanical structures are electrostatically actuated. A tuning range of 55 nm is demonstrated for an actuation voltage of 12 V. The low leakage current, of less than 10 µA for a bias of up to 30 V, provides a low actuation power. The tunable air-gap cavities are fabricated by selective wet etching of InGaAs sacrificial layers. An FeCl3 based etchant is used to completely remove the InGaAs material without affecting the thickness of the InP layer. The anisotropy of the etch rate of InGaAs was also investigated and exploited in the micromachining process.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- SURFACE-EMITTING LASER
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Chitica, N
-
Daleiden, J
-
Bentell, J
-
Andre, J
-
Strassner, M
-
Greek, Staffan
-
visa fler...
-
Pasquariello, Do ...
-
Karlsson, Mikael
-
Gupta, Ram
-
Hjort, Klas
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
- Artiklar i publikationen
-
Physica scripta. ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet