Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-310063" >
Thin film metal sen...
Thin film metal sensors in fusion bonded glass chips for high-pressure microfluidics
-
- Andersson, Martin (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Ek, Johan (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Hedman, Ludvig (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
visa fler...
-
- Johansson, Fredrik (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Sehlstedt, Viktor (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Stocklassa, Jesper (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Snögren, Pär (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Pettersson, Victor (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Larsson, Jonas (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Vizuete, Olivier (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Hjort, Klas (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
- Klintberg, Lena (författare)
- Uppsala universitet,Mikrosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2016-11-16
- 2017
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering. - : IOP Publishing. - 0960-1317 .- 1361-6439. ; 27:1
- Relaterad länk:
-
https://uu.diva-port... (primary) (Raw object)
-
visa fler...
-
http://uu.diva-porta...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- High-pressure microfluidics offers fast analyses of thermodynamic parameters for compressed process solvents. However, microfluidic platforms handling highly compressible supercritical CO2 are difficult to control, and on-chip sensing would offer added control of the devices. Therefore, there is a need to integrate sensors into highly pressure tolerant glass chips. In this paper, thin film Pt sensors were embedded in shallow etched trenches in a glass wafer that was bonded with another glass wafer having microfluidic channels. The devices having sensors integrated into the flow channels sustained pressures up to 220 bar, typical for the operation of supercritical CO2. No leakage from the devices could be found. Integrated temperature sensors were capable of measuring local decompression cooling effects and integrated calorimetric sensors measured flow velocities over the range 0.5-13.8 mm/s. By this, a better control of high-pressure microfluidic platforms has been achieved.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik -- Övrig annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies -- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified (hsv//eng)
Nyckelord
- supercritical carbon dioxide
- high pressure microfluidics
- integrated electrodes
- temperature sensing
- flow sensing
- glass
- Teknisk fysik med inriktning mot mikrosystemteknik
- Engineering Science with specialization in Microsystems Technology
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Andersson, Marti ...
-
Ek, Johan
-
Hedman, Ludvig
-
Johansson, Fredr ...
-
Sehlstedt, Vikto ...
-
Stocklassa, Jesp ...
-
visa fler...
-
Snögren, Pär
-
Pettersson, Vict ...
-
Larsson, Jonas
-
Vizuete, Olivier
-
Hjort, Klas
-
Klintberg, Lena
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Annan teknik
-
och Övrig annan tekn ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Micro ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet