Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-37583" >
Electrical characte...
Electrical characterization of TiC ohmic contacts to aluminum ion implanted 4H-silicon carbide
-
- Lee, SK (författare)
- Uppsala universitet,Kemiska institutionen,Oorganisk kemi
-
Zetterling, CM (författare)
-
Danielsson, E (författare)
-
visa fler...
-
Ostling, M (författare)
-
- Palmquist, Jens-Petter (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi,oorganisk kemi
-
- Högberg, Hans (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi,oorganisk kemi
-
- Jansson, Ulf (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi,oorganisk kemi
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2000
- 2000
- Engelska.
-
Ingår i: APPLIED PHYSICS LETTERS. - 0003-6951. ; 77:10, s. 1478-1480
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report on the investigation of epitaxial TiC ohmic contacts to Al ion implanted 4H-SiC. TiC ohmic contacts were formed by coevaporation of Ti and C-60 at low temperature (< 500 degrees C). A sacrificial silicon nitride (Si3N4) layer was deposited on th
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- TITANIUM; DEVICES
- Inorganic chemistry
- Oorganisk kemi
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas