Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-384881" >
Metal Filling by Hi...
-
Jablonka, Lukas,Dipl.-NanoSc.Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
(författare)
Metal Filling by High Power Impulse Magnetron Sputtering
- Artikel/kapitelEngelska2019
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
2019-07-08
-
IOP Publishing,2019
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-384881
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-384881URI
-
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab28e2DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is an emerging thin film deposition technology that provides a highly ionized flux of sputtered species. This makes HiPIMS attractive for metal filling of nanosized holes for highly scaled semiconductor devices. In this work, HiPIMS filling with Cu and Co is investigated. We show that the quality of the hole filling is determined mainly by the fraction of ions in the deposited flux and their energy. The discharge waveforms alone are insufficient to determine the ionization of the metal flux. The experimental results are in a good agreement with Monte-Carlo simulations using the measured flux characteristics. Based on the simulations, strategies to improve the filling are discussed.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Moskovkin, PavelLaboratoire d'Analyse par Réactions Nucléaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur (UNamur), Namur, Belgium
(författare)
-
Zhang, Zhen,1979-Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)zhezh386
(författare)
-
Zhang, Shi-LiUppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)shizh725
(författare)
-
Lucas, StéphaneLaboratoire d'Analyse par Réactions Nucléaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur (UNamur), Namur, Belgium
(författare)
-
Kubart, Tomas,1977-Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik(Swepub:uu)tomku340
(författare)
-
Uppsala universitetFasta tillståndets elektronik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Physics D: IOP Publishing52:360022-37271361-6463
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas