Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-70667" >
Structural and elec...
Structural and electronic properties of low dielectric constant fluorinated amorphous carbon films
-
- Ma, YJ (författare)
- Uppsala universitet
-
- Yang, HN (författare)
- Uppsala universitet
-
- Guo, J (författare)
- Uppsala universitet
-
visa fler...
-
- Sathe, C (författare)
- Uppsala universitet
-
- Agui, A (författare)
- Uppsala universitet
-
- Nordgren, J (författare)
- Uppsala universitet
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AMER INST PHYSICS, 1998
- 1998
- Engelska.
-
Ingår i: APPLIED PHYSICS LETTERS. - : AMER INST PHYSICS. - 0003-6951. ; 72:25, s. 3353-3355
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Fluorinated amorphous carbon (a-CFx) films were studied by high-resolution x-ray absorption, emission, and photoelectron spectroscopy. The composition and local bonding information were obtained and correlated with substrate temperature during deposition.
Nyckelord
- DIAMOND
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas