SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-75930"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-75930" > Modelling of the Pl...

Modelling of the Plasma Impedance in Reactive Magnetron Sputtering for Various Traget Materials

Pflug, Andreas (författare)
Siemers, M (författare)
Szyszka, B (författare)
visa fler...
Kappertz, Oliver (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
Nyberg, Tomas (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
Berg, Sören (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
Severin, Daniel (författare)
Wuttig, M (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2005
2005
Engelska.
Ingår i: Proceedings of the 48th Annual Society of Vacuum Coaters Technical Conference in Denver, April 23-28. ; , s. 298-301
  • Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)
kon (ämneskategori)

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy