SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-76028"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-76028" > Effects of post-dep...

Effects of post-deposition annealing on the material characteristics of ultrathin HfO2 films on silicon

Puthenkovilakam, R (författare)
Lin, Y-S (författare)
Choi, J (författare)
visa fler...
Lu, Jun (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Elektronik,Experimentell fysik,Mikrostrukturlaboratoriet
Blom, Hans-Olof (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper,Elektronik,Experimentell fysik,Fasta tillståndets elektronik
Pianetta, P (författare)
Devine, D (författare)
Sendler, M (författare)
Chang, J P (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2005
2005
Engelska.
Ingår i: J Appl Phys. ; 97:2
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy