Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-84636" >
Compositional varia...
Compositional variations of sputter deposited Ti/W barrier layers on substrates with pronounced surface topography
-
- Jonsson, Lars (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
- Hedlund, Christer, 1964- (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
- Katardjiev, Ilia (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
visa fler...
-
- Berg, Sören (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 1999
- 1999
- Engelska.
-
Ingår i: THIN SOLID FILMS. - 0040-6090 .- 1879-2731. ; 348:1-2, s. 227-232
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Sputter deposited Ti/W barrier layers have been found to be Ti deficient with respect to the target composition, which is attributed to the preferential resputtering of Ti from the deposited films by energetic neutrals or ions from the discharge. On the o
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- deposition process; titanium; tungsten; ion bombardment; YIELD AMPLIFICATION; ION-BOMBARDMENT; MICROSTRUCTURE
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas