Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:08404429-2adb-489f-b281-2549e35fb8cc" >
Investigation of PM...
Investigation of PMMA resist residues using photoelectron microscopy
-
- Maximov, Ivan (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Zakharov, Alexei (författare)
- Lund University,Lunds universitet,MAX IV-laboratoriet,MAX IV Laboratory
-
Holmqvist, T. (författare)
-
visa fler...
-
- Montelius, Lars (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Neuronano Research Center (NRC),Forskargrupper vid Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Lund University Research Groups,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Lindau, Ingolf (författare)
- Lund University,Lunds universitet,MAX IV-laboratoriet,MAX IV Laboratory
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2002
- 2002
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science and Technology. ; B20:3, s. 1139-1142
- Relaterad länk:
-
https://lup.lub.lu.s...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas