Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:5868c9fc-79e1-4b2d-9912-b2f986ad1025" >
Electron-beam mixin...
Electron-beam mixing of W1 - xSix Si multilayers
-
- Vavra, I (författare)
- Slovak Academy of Sciences
-
- Wallenberg, LR (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Centrum för analys och syntes,Kemiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Centre for Analysis and Synthesis,Department of Chemistry,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Kudryashov, VA (författare)
- Institute of Microelectronics and High-Purity Materials, Russian Academy of Sciences
-
(creator_code:org_t)
- 1995
- 1995
- Engelska 2 s.
-
Ingår i: Vacuum. - 0042-207X. ; 46:8-10, s. 1063-1064
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://lup.lub.lu.s...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The high energy electron beam was used for the local amorphisation of metallic multilayer. The observed effect is proposed for the application in nanometer-scale technology.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas