Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:5868c9fc-79e1-4b2d-9912-b2f986ad1025" >
Electron-beam mixin...
-
Vavra, ISlovak Academy of Sciences
(författare)
Electron-beam mixing of W1 - xSix Si multilayers
- Artikel/kapitelEngelska1995
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:lup.lub.lu.se:5868c9fc-79e1-4b2d-9912-b2f986ad1025
-
https://lup.lub.lu.se/record/5868c9fc-79e1-4b2d-9912-b2f986ad1025URI
-
https://doi.org/10.1016/0042-207X(95)00107-7DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Anmärkningar
-
The high energy electron beam was used for the local amorphisation of metallic multilayer. The observed effect is proposed for the application in nanometer-scale technology.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Wallenberg, LRLund University,Lunds universitet,Centrum för analys och syntes,Kemiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Centre for Analysis and Synthesis,Department of Chemistry,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ook2-rwa
(författare)
-
Kudryashov, VAInstitute of Microelectronics and High-Purity Materials, Russian Academy of Sciences
(författare)
-
Slovak Academy of SciencesCentrum för analys och syntes
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Vacuum46:8-10, s. 1063-10640042-207X
Internetlänk
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas