Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:a2ebceee-c2ee-47ab-8b20-3102cd6f643f" >
Ambient pressure x-...
Ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy setup for synchrotron-based in situ and operando atomic layer deposition research
-
- Kokkonen, E. (författare)
- Lund University,Lunds universitet,MAX IV-laboratoriet,MAX IV Laboratory
-
- Kaipio, Mikko (författare)
- University of Helsinki
-
- Nieminen, Heta Elisa (författare)
- University of Helsinki
-
visa fler...
-
- Rehman, F. (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Synkrotronljusfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Synchrotron Radiation Research,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Miikkulainen, V. (författare)
- Aalto University
-
- Putkonen, Matti (författare)
- University of Helsinki
-
- Ritala, M. (författare)
- University of Helsinki
-
- Huotari, Simo (författare)
- University of Helsinki
-
- Schnadt, J. (författare)
- Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Synkrotronljusfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Synchrotron Radiation Research,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Urpelainen, Samuli (författare)
- University of Oulu
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AIP Publishing, 2022
- 2022
- Engelska.
-
Ingår i: Review of Scientific Instruments. - : AIP Publishing. - 1089-7623 .- 0034-6748. ; 93:1
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10... (free)
-
visa fler...
-
https://helda.helsin...
-
https://lup.lub.lu.s...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- An ambient pressure cell is described for conducting synchrotron-based x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) measurements during atomic layer deposition (ALD) processes. The instrument is capable of true in situ and operando experiments in which it is possible to directly obtain elemental and chemical information from the sample surface using XPS as the deposition process is ongoing. The setup is based on the ambient pressure XPS technique, in which sample environments with high pressure (several mbar) can be created without compromising the ultrahigh vacuum requirements needed for the operation of the spectrometer and the synchrotron beamline. The setup is intended for chemical characterization of the surface intermediates during the initial stages of the deposition processes. The SPECIES beamline and the ALD cell provide a unique experimental platform for obtaining new information on the surface chemistry during ALD half-cycles at high temporal resolution. Such information is valuable for understanding the ALD reaction mechanisms and crucial in further developing and improving ALD processes. We demonstrate the capabilities of the setup by studying the deposition of TiO2 on a SiO2 surface by using titanium(IV) tetraisopropoxide and water as precursors. Multiple core levels and the valence band of the substrate surface were followed during the film deposition using ambient pressure XPS.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Acceleratorfysik och instrumentering (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Accelerator Physics and Instrumentation (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology -- Nano-technology (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Kokkonen, E.
-
Kaipio, Mikko
-
Nieminen, Heta E ...
-
Rehman, F.
-
Miikkulainen, V.
-
Putkonen, Matti
-
visa fler...
-
Ritala, M.
-
Huotari, Simo
-
Schnadt, J.
-
Urpelainen, Samu ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Atom och molekyl ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Acceleratorfysik ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Review of Scient ...
- Av lärosätet
-
Lunds universitet