onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:a8c53c92-76a9-4a75-ae9f-b4b3948622ff"
Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:a8c53c92-76a9-4a75-ae9f-b4b3948622ff" > Lithography of high...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Lithography of high spatial density biosensor structures with sub-100 nm spacing by MeV proton beam writing with minimal proximity effect
-
- Whitlow, Harry J (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Kärnfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Nuclear physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Ng, May Ling (författare)
- Lund University,Lunds universitet,MAX IV-laboratoriet,MAX IV Laboratory
-
- Auzelyte, Vaida (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Kärnfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Nuclear physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
- visa fler...
- van Kan, JA (författare)
- Bettiol, AA (författare)
- Watt, F (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 2003-11-26
- 2004
- Rumänska.
- Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484 .- 1361-6528. ; 15:1, s. 223-226
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Metal electrode structures for biosensors with a high spatial density and similar to85 nm gaps have been produced using focused megaelectronvolt (MeV) proton beam writing of poly-(methyl methacrylate) positive resist combined with metal lift-off. The minimal proximity exposure and straight proton trajectories in (similar to100 nm) resist layers for focused MeV proton beam writing are strongly indicative that ultimate electrode gap widths approaching a few nanometres are achievable.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology -- Nano-technology (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Whitlow, Harry J
- Ng, May Ling
- Auzelyte, Vaida
- Maximov, Ivan
- Montelius, Lars
- van Kan, JA
- visa fler...
- Bettiol, AA
- Watt, F
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Nanotechnology
- Av lärosätet
- Lunds universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
