Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:af86d2f5-1761-432f-893d-58a4f5356797" >
Fabrication of cant...
Fabrication of cantilever based mass sensors inteagrated with CMOS using direct write laser lithography on resist
-
Forsén, E (författare)
-
Nilsson, S G (författare)
-
- Carlberg, Patrick (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
visa fler...
-
Abadal, G (författare)
-
Pérez-Murano, F (författare)
-
Esteve, J (författare)
-
Montserrat, J (författare)
-
Figueras, E (författare)
-
Campabadal, F (författare)
-
Verd, J (författare)
-
- Montelius, Lars (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
Barniol, N (författare)
-
Boisen, A (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2004
- 2004
- Engelska.
-
Ingår i: Nanotechnol 15, S628-S633 (2004).
- Relaterad länk:
-
https://lup.lub.lu.s...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Forsén, E
-
Nilsson, S G
-
Carlberg, Patric ...
-
Abadal, G
-
Pérez-Murano, F
-
Esteve, J
-
visa fler...
-
Montserrat, J
-
Figueras, E
-
Campabadal, F
-
Verd, J
-
Montelius, Lars
-
Barniol, N
-
Boisen, A
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
- Nanotechnol 15, ...
- Av lärosätet
-
Lunds universitet