SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:174c7c1e-145c-4811-9f08-d4f9347456fd"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:174c7c1e-145c-4811-9f08-d4f9347456fd" > Room temperature wa...

  • Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)

Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz

  • Artikel/kapitelEngelska2000

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • Springer Science and Business Media LLC,2000

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:174c7c1e-145c-4811-9f08-d4f9347456fd
  • https://doi.org/10.1007/s11664-000-0180-7DOI
  • https://research.chalmers.se/publication/17718URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype
  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Amirfeiz, Petra,1973Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)
  • Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Journal Of Electronic Materials: Springer Science and Business Media LLC29:7, s. 909-9150361-52351543-186X

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Bengtsson, Stefa ...
Amirfeiz, Petra, ...
Om ämnet
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
TEKNIK OCH TEKNO ...
och Elektroteknik oc ...
och Annan elektrotek ...
Artiklar i publikationen
Journal Of Elect ...
Av lärosätet
Chalmers tekniska högskola

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy