Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:26696493-1f49-4d5b-99ae-cacabb7275f5" >
Formation of silico...
Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding
-
- Amirfeiz, Petra, 1973 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bergh, Mats, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Zanghellini, Ezio, 1962 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Börjesson, Lars, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings. ; 99, s. 29-39
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)