Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:2a55252a-2d5d-4b31-b532-6fae62782652" >
Fabrication of nano...
Fabrication of nanoscale electrostatic lenses
-
- Sinno, Ihab, 1982 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology,Chalmers University of Technology, Göteborg
-
- Sanz-Velasco, Anke, 1971 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology,Chalmers University of Technology, Göteborg
-
- Kang, S. (författare)
- C2V, 7500AH Enschede, The Netherlands
-
visa fler...
-
- Jansen, H. (författare)
- MESA+Institute, Enschede, The Netherlands
-
- Olsson, Eva, 1960 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology,Chalmers University of Technology, Göteborg
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology,Chalmers University of Technology, Göteborg
-
- Svensson, Krister, 1969- (författare)
- Karlstads universitet,Avdelningen för fysik och elektroteknik,Materialfysik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010-08-27
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering. - Philadelphia : IOP Publishing. - 1361-6439 .- 0960-1317. ; 20:9
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
http://iopscience.io...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The fabrication of cylindrical multi-element electrostatic lenses at the nanoscale presents a challenge; they are high-aspect-ratio structures that should be rotationally symmetric, well aligned and freestanding, with smooth edges and flat, clean surfaces. In this paper, we present the fabrication results of a non-conventional process, which uses a combination of focused gallium ion-beam milling and hydrofluoric acid vapor etching. This process makes it possible to fabricate nanoscale electrostatic lenses down to 140 nm in aperture diameter and 4.2 mu m in column length, with a superior control of the geometry as compared to conventional lithography-based techniques.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- field
- objective lens
- microscope
- systems
- Physics
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Sinno, Ihab, 198 ...
-
Sanz-Velasco, An ...
-
Kang, S.
-
Jansen, H.
-
Olsson, Eva, 196 ...
-
Enoksson, Peter, ...
-
visa fler...
-
Svensson, Kriste ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Micro ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola
-
Karlstads universitet