onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6"
Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6" > Evaluation of silic...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Soderbarg, Anders (författare)
Evaluation of silicon device processes aimed for silicon-on-diamond material
- Artikel/kapitelEngelska1995
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 1995
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6
- https://doi.org/10.1109/SOI.1995.526482DOI
- https://research.chalmers.se/publication/17791URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- Silicon-on-Diamond (SOD) is a candidate for the next generation of SOI materials, especially for applications requiring high heat spreading capability. Undoped diamond is a highly electrically insulating material at temperatures below 600 K. Resistivities above 1013 Ωcm (at 10 V) and breakdown fields above 107 V/cm have been reported. Diamond conducts heat about 10 times better than silicon and more than 1000 times better than silicon dioxide. In this paper, necessary process modifications for successful manufacturing of devices on SOD-materials are discussed and evaluated
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik Annan elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
- semiconductor technology
- diamond
- silicon-on-insulator
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Edholm, Bengt (författare)
- Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb (författare)
- Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:1995 IEEE International SOI Conference Proceedings, s. 104-
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Soderbarg, Ander ...
- Edholm, Bengt
- Bengtsson, Stefa ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- 1995 IEEE Intern ...
- Av lärosätet
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
