Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:4352671d-4fe8-4800-af79-fe17c4dd3a9b" >
Effects of substrat...
Effects of substrate temperature on the uniformity of InGaAs epilayers using a dual-zone manipulator
-
- Wang, Hongzhen (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Zhu, Shalu (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Fan, Liuyan (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
visa fler...
-
- Gu, Yi (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Chen, Pingping (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Wang, Shu Min, 1963 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Cao, Jiasheng (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Yang, Bo (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Li, Tao (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Shao, Xiumei (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Li, Xue (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
- Gong, Haimei (författare)
- Chinese Academy of Sciences
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2021
- 2021
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - : Elsevier BV. - 0022-0248. ; 574
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Three-inch InGaAs epilayers are grown by solid source molecular beam epitaxy using the manipulator equipped with dual-zone heaters. The effects of the substrate temperature on the uniformity of material surface morphology, indium composition, photoluminescence, electronic mobility, and background doping are investigated. As the temperature of the outer heater in the range of 625 °C to 655 °C, no dim area is observed on the edge of the material surface. At the same time, the indium composition fluctuation of the high-resolution X-ray diffraction and the photoluminescence wavelength fluctuation are less than ±0.1% for the epilayers grown at the optimum substrate temperatures.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Keramteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Ceramics (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Materialkemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Materials Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- Photoluminescence
- Solid source molecular beam epitaxy
- High-resolution X-ray diffraction
- Uniformity
- Mobility
- Semiconducting III-V arsenide
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Wang, Hongzhen
-
Zhu, Shalu
-
Fan, Liuyan
-
Gu, Yi
-
Chen, Pingping
-
Wang, Shu Min, 1 ...
-
visa fler...
-
Cao, Jiasheng
-
Yang, Bo
-
Li, Tao
-
Shao, Xiumei
-
Li, Xue
-
Gong, Haimei
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
och Keramteknik
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Materialkemi
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola