Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:4853f44d-6c38-44ce-a20c-581d50c4fd5c" >
Deep wet etching of...
Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
-
Corman, Thierry (författare)
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Stemme, Göran, 1958 (författare)
-
(creator_code:org_t)
- 1998
- 1998
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering, 8. ; , s. 84-87
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas