onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:4853f44d-6c38-44ce-a20c-581d50c4fd5c"
Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:4853f44d-6c38-44ce-a20c-581d50c4fd5c" > Deep wet etching of...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Corman, Thierry (författare)
Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
- Artikel/kapitelEngelska1998
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 1998
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:4853f44d-6c38-44ce-a20c-581d50c4fd5c
- https://research.chalmers.se/publication/153954URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Annan teknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Other Engineering and Technologies hsv//eng
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Kemiteknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Chemical Engineering hsv//eng
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Enoksson, Peter,1957Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)enok (författare)
- Stemme, Göran,1958 (författare)
- Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Journal of Micromechanics and Microengineering, 8, s. 84-87
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Journal of Micromechanics and Microengineering, 8 (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Corman, Thierry
- Enoksson, Peter, ...
- Stemme, Göran, 1 ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Annan teknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Kemiteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- Journal of Micro ...
- Av lärosätet
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
