Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:9b613de9-9307-4f8e-a1ba-1cc253114401" >
Low temperature ful...
Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers
-
Niklaus, Frank (författare)
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Griss, Patrick (författare)
-
visa fler...
-
Kälvesten, Edvard, 1967 (författare)
-
Stemme, Göran, 1958 (författare)
-
Andersson, Helene (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany. ; 92, s. 235-241
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
-
visa fler...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik -- Övrig annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies -- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)