Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers

Niklaus, Frank (författare)

Enoksson, Peter, 1957 (författare): Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology

Griss, Patrick (författare)

Kälvesten, Edvard, 1967 (författare)

Stemme, Göran, 1958 (författare)

Andersson, Helene (författare)

(creator_code:org_t)

2001
2001
Engelska.
Ingår i: The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany. ; 92, s. 235-241

Relaterad länk:: https://research.cha...; visa fler...; https://research.cha...; visa färre...

Ämnesord

Stäng

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik -- Övrig annan teknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies -- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified (hsv//eng)

Av författaren/redakt...: Niklaus, Frank; Enoksson, Peter, ...; Griss, Patrick; Kälvesten, Edvar ...; Stemme, Göran, 1 ...; Andersson, Helen ...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Annan teknik; och Övrig annan tekn ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.