Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a4a09559-b963-482f-a1f9-767c97a3c851" >
Fabrication and cha...
Fabrication and characterization of IC-Compatible Linear Variable Optical Filters with application in a micro-spectrometer
-
- Emadi, A. (författare)
- Technische Universiteit Delft,Delft University of Technology (TU Delft)
-
- Wu, H. (författare)
- Technische Universiteit Delft,Delft University of Technology (TU Delft)
-
- Grabarnik, S. (författare)
- Technische Universiteit Delft,Delft University of Technology (TU Delft)
-
visa fler...
-
- De Graaf, G. (författare)
- Technische Universiteit Delft,Delft University of Technology (TU Delft)
-
- Hedsten, Karin, 1964 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Correia, J. H. (författare)
- Universidade do Minho,University of Minho
-
- Wolffenbuttel, R. F. (författare)
- Technische Universiteit Delft,Delft University of Technology (TU Delft)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Sensors and Actuators, A: Physical. - : Elsevier BV. - 0924-4247. ; 162:2; Sp. Iss. SI, s. 400-405
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper reports on an IC-Compatible process for the fabrication of Linear Variable Optical Filter (LVOF). The LVOF is integrated with a detector array to result in a micro-spectrometer. The technological challenge in fabrication of an LVOF is fabrication of a well-controlled tapered cavity layer. Very small taper angles, ranging from 0.001 degrees to 0.1 degrees. are fabricated in a resist layer by just one lithography step and a subsequent reflow process. The 3D pattern of resist structures is subsequently transferred into SiO2 by an appropriate etching. Complete LVOF fabrication involves CMOS-compatible deposition of a lower dielectric mirror using a stack of dielectrics on the wafer, tapered layer formation and the deposition of the top dielectric mirror. The design principle, IC-Compatible processing and the characterization results on fabricated LVOFs are presented. (C) 2010 Elsevier B.V. All rights reserved.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- Tapered layer
- Optical filter
- Thin film
- Linear variable filter
- Micro-spectrometer
- Reflow
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Emadi, A.
-
Wu, H.
-
Grabarnik, S.
-
De Graaf, G.
-
Hedsten, Karin, ...
-
Enoksson, Peter, ...
-
visa fler...
-
Correia, J. H.
-
Wolffenbuttel, R ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
- Artiklar i publikationen
-
Sensors and Actu ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola