Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e" > Plasma assisted low...
Fältnamn | Indikatorer | Metadata |
---|---|---|
000 | 01388naa a2200253 4500 | |
001 | oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e | |
003 | SwePub | |
008 | 171007s2003 | |||||||||||000 ||eng| | |
024 | 7 | a https://research.chalmers.se/publication/162012 URI |
040 | a (SwePub)cth | |
041 | a eng | |
042 | 9 SwePub | |
072 | 7 | a kon2 swepub-publicationtype |
072 | 7 | a ref2 swepub-contenttype |
100 | 1 | a Amirfeiz, Petra,d 1973u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut |
245 | 1 0 | a Plasma assisted low temperature wafer bonding: void formation in the oxide free interface |
264 | 1 | c 2003 |
650 | 7 | a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronik0 (SwePub)2022 hsv//swe |
650 | 7 | a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)2022 hsv//eng |
700 | 1 | a Sanz-Velasco, Anke,d 1971u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)ankesanz |
700 | 1 | a Bengtsson, Stefan,d 1961u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)stefanb |
710 | 2 | a Chalmers tekniska högskola4 org |
773 | 0 | t Proceedings of the 7th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, Paris, France (2003) |
856 | 4 8 | u https://research.chalmers.se/publication/16201 |
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy