Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:c34653a9-2111-446e-822d-c2628f3837e1" >
Integrated MEMS-Tun...
Integrated MEMS-Tunable VCSELs Using a Self-Aligned Reflow Process
-
- Kögel, Benjamin, 1979 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Debernardi, P. (författare)
- Consiglo Nazionale Delle Richerche
-
- Westbergh, Petter, 1981 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Gustavsson, Johan, 1974 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Haglund, Åsa, 1976 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Haglund, Erik, 1985 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Jörgen, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Larsson, Anders, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2012
- 2012
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE Journal of Quantum Electronics. - 0018-9197 .- 1558-1713. ; 48:2, s. 144-152
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A simple microelectromechanical systems technology for wafer-scale integration of tunable vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) is presented. The key element is a self-aligned reflow process to form photoresist droplets, which serve as sacrificial layer and preform for a curved micromirror. Using a 3-D electromagnetic model, the half-symmetric cavity is optimized for singlemode emission. The technology is demonstrated for electrically pumped, short-wavelength (850 nm) tunable VCSELs, but is transferable to other wavelengths and material systems. Fabricated devices with 10 mu m large current aperture are singlemode and tunable over 24 nm. An improved high-speed design with reduced parasitic capacitance enables direct modulation with 3dB-bandwidths up to 6 GHz and data transmission at 5Gbit/s. Small signal analysis shows that the intrinsic parameters (resonance frequency and damping) are wavelength dependent through the differential gain.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- vertical-cavity surface-emitting laser
- microlens
- wafer-scale integration
- micromirror
- reflow
- photoresist
- Microelectromechanical system
- laser
- mode
- tunable laser
- tunnel-junction
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Kögel, Benjamin, ...
-
Debernardi, P.
-
Westbergh, Pette ...
-
Gustavsson, Joha ...
-
Haglund, Åsa, 19 ...
-
Haglund, Erik, 1 ...
-
visa fler...
-
Bengtsson, Jörge ...
-
Larsson, Anders, ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
- Artiklar i publikationen
-
IEEE Journal of ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola