Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:f4e4a293-fd3d-44d4-8e8d-b9086375696e" >
Wafer Bonding Induc...
Wafer Bonding Induced Degradation Of Thermal Silicon Dioxide Layers On Silicon
-
Afanasev, V. V. (författare)
-
- Ericsson, Per, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Andersson, Mats O., 1963 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 1995
- 1995
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics Letters. ; 66:13, s. 1653-1655
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas