SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:f4e4a293-fd3d-44d4-8e8d-b9086375696e"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:f4e4a293-fd3d-44d4-8e8d-b9086375696e" > Wafer Bonding Induc...

  • Afanasev, V. V. (författare)

Wafer Bonding Induced Degradation Of Thermal Silicon Dioxide Layers On Silicon

  • Artikel/kapitelEngelska1995

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 1995

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:f4e4a293-fd3d-44d4-8e8d-b9086375696e
  • https://research.chalmers.se/publication/17696URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype
  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Ericsson, Per,1968Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)
  • Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb (författare)
  • Andersson, Mats O.,1963Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology (författare)
  • Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Applied Physics Letters66:13, s. 1653-1655

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Afanasev, V. V.
Ericsson, Per, 1 ...
Bengtsson, Stefa ...
Andersson, Mats ...
Om ämnet
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
TEKNIK OCH TEKNO ...
och Elektroteknik oc ...
och Annan elektrotek ...
Artiklar i publikationen
Av lärosätet
Chalmers tekniska högskola

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy