SwePub
Sök i SwePub databas

  Extended search

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-19944" "

Search: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-19944"

  • Result 1-1 of 1
Sort/group result
   
EnumerationReferenceCoverFind
1.
  • Hansson, B. A. M., et al. (author)
  • A liquid-xenon-jet laser-plasma X-ray and EUV source
  • 2000
  • In: Microelectronic Engineering. - 0167-9317 .- 1873-5568. ; 53:04-jan, s. 667-670
  • Journal article (peer-reviewed)abstract
    • We describe a laser-plasma soft-x-ray source based on a cryogenic-xenon liquid-jet target. The source is suitable for extreme ultraviolet (EUV) projection lithography and proximity x-ray lithography (PXL). Absolute calibrated spectra in the 1-2 nm range and uncalibrated spectra in the 9-15 nm range are obtained using a free-standing transmission grating and a CCD-detector.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Result 1-1 of 1
Type of publication
journal article (1)
Type of content
peer-reviewed (1)
Author/Editor
Berglund, M (1)
Rymell, L. (1)
Hertz, Hans M. (1)
Hansson, B. A. M. (1)
University
Royal Institute of Technology (1)
Language
English (1)
Year
2000 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Close

Copy and save the link in order to return to this view