3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching

LIBRIS Formathandbok (Information om MARC21)

Fältnamn	Indikatorer	Metadata
000		01402naa a2200301 4500
001		oai:DiVA.org:kth-91425
003		SwePub
008		120314s2012 \| \|\|\|\|\|\|\|\|\|\|\|000 \|\|eng\|
024	7	a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-914252 URI
040		a (SwePub)kth
041		a eng
042		9 SwePub
072	7	a vet2 swepub-contenttype
072	7	a kon2 swepub-publicationtype
100	1	a Fischer, Andreas C.,d 1982-u KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1pfkzjx
245	1 0	a 3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching
264	1	c 2012
338		a print2 rdacarrier
500		a QC 20121210
700	1	a Gylfason, Kristinn B.u KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1v3y7u7
700	1	a Belova, Liubov M.u KTH,Tillämpad materialfysik4 aut0 (Swepub:kth)u15bf6fe
700	1	a Malm, Gunnar B.u KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u13lag9j
700	1	a Kolahdouz, Mohammadrezau KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u1cet9aw
700	1	a Rikers, Yuri G.M.u FEI Electron Optics4 aut
700	1	a Stemme, Göranu KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1oyebfq
700	1	a Niklaus, Franku KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1bcu8r2
710	2	a KTHb Mikrosystemteknik4 org
856	4 8	u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-91425

By the author/editor: Fischer, Andreas ...; Gylfason, Kristi ...; Belova, Liubov M ...; Malm, Gunnar B.; Kolahdouz, Moham ...; Rikers, Yuri G.M ...; show more...; Stemme, Göran; Niklaus, Frank; show less...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.