Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-45293" >
Growth of 4H-SiC Ep...
-
Henry, Anne,1959-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
(författare)
Growth of 4H-SiC Epitaxial Layers on 4° Off-axis Si-face substrates
- Artikel/kapitelEngelska2009
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Trans Tech Publications,2009
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-45293
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-45293URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.81DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
CVD growth of epitaxial layers with a mirror like surface grown on 75 mm diameter 4° off-axis 4H SiC substrates is demonstrated. The effect of the C/Si ratio, temperature and temperature ramp up conditions is studied in detail. A low C/Si ratio of 0.4 and a temperature of 1530 °C is the best combination to avoid step bunching and triangular defects on the epitaxial layers. Using a low growth rate (about 3 µm/h) 6 μm thick, n-type doped epilayers were grown on 75 mm diameter wafers resulting in an RMS value of 0.7 nm and good reproducibility. 20 μm thick epitaxial layers with a background doping in the low 1014 cm-3 were grown with a mirror-like, defect-free surface. Preliminary results when using higher Si/H2 ratio (up to 0.4 %) and HCl addition are also presented: growth rate of 28 μm/h is achieved while keeping a smooth morphology.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
NATURAL SCIENCES
-
NATURVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Leone, Stefano,1978-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)stele19
(författare)
-
Pedersen, Henrik,1981-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)henpe50
(författare)
-
Kordina, OlleLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ollko50
(författare)
-
Janzén, Erik,1954-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)erija14
(författare)
-
Linköpings universitetTekniska högskolan
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Materials Science Forum, Vols. 615-617: Trans Tech Publications, s. 81-849780878493340
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas