Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:lnu-101102" >
Preparation and tunable optical properties of amorphous AlSiO thin films
-
- Magnusson, Roger, 1977- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Paul, Biplab, 1980- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Eklund, Per, Docent, 1977- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
visa fler...
-
- Greczynski, Grzegorz, 1973- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Birch, Jens, 1960- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Jonson, Bo, 1958- (författare)
- Linnéuniversitetet,Institutionen för byggd miljö och energiteknik (BET),Avancerade material,Glass group,School of Engineering, Department of Built Environment and Energy Technology, Linnæus University, Växjö, Sweden
-
- Ali, Sharafat, Associate Professor, 1976- (författare)
- Linnéuniversitetet,Institutionen för byggd miljö och energiteknik (BET),Avancerade material,Glass group,School of Engineering, Department of Built Environment and Energy Technology, Linnæus University, Växjö, Sweden
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 2021
- Engelska.
-
Ingår i: Vacuum. - : Elsevier. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 187
- Relaterad länk:
-
https://doi.org/10.1...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Thin films in the aluminosilicate (AlSiO) system containing up to 31 at. % Al and 23 at. % Si were prepared by reactive RF magnetron co-sputtering in order to investigate the dependence of film formation and optical properties on substrate temperature and Si and Al contents. The obtained films were amorphous with smooth microstructure. The growth rate at different substrate temperatures ranged from 1.2 to 3.3 nm/min and increase with increasing the Si target power. The roughness decreases and thickness increases with increasing Si content. The thickness of the films grown at a deposition temperature of 100 °C is found to be higher than the films deposited at 300 and 500 °C. The AlSiO-coated glasses have a higher transmission in the visible region than the uncoated glass. The spectroscopic ellipsometry analysis reveals that the refractive index value decreased with decreasing the Al content, having extinction coefficient values of zero in the measured spectral region and band gap values ≥ 3.4 eV. The obtained thin films have over 90% transmittance in the visible range and no systematic variation of transmittance was observed with substrate temperature. The results suggest that glass substrate coated with AlSiO thin films have improved optical properties.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Keramteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Ceramics (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Manufacturing, Surface and Joining Technology (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- Al-Si-O thin films; Sputtering; High Al content; Extinction coefficient; Refractive index; Mueller matrix ellipsometry
- Glasteknologi
- Glass Technology
- Kemi
- Chemistry
- Condensed Matter Physics
- Kondenserade materians fysik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Magnusson, Roger ...
-
Paul, Biplab, 19 ...
-
Eklund, Per, Doc ...
-
Greczynski, Grze ...
-
Birch, Jens, 196 ...
-
Jonson, Bo, 1958 ...
-
visa fler...
-
Ali, Sharafat, A ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Kemiteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
och Keramteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
och Bearbetnings yt ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
-
Vacuum
- Av lärosätet
-
Linnéuniversitetet
-
Linköpings universitet