onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-10186"
Search: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-10186" > Target Compound Lay...
- 1 of 1
- Previous record
- Next record
- To hitlist
Target Compound Layer Formation during Reactive Sputtering
-
- Jonsson, Lars (author)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
- Nyberg, Tomas (author)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
- Berg, Sören (author)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
- (creator_code:org_t)
- 1998
- 1998
- English.
- In: Presented at AVS 45th National Symposium in Baltimore, Maryland, USA, November 2-6.
- Conference paper (peer-reviewed)
Subject headings
Close
Publication and Content Type
- ref (subject category)
- kon (subject category)
To the university's database
- 1 of 1
- Previous record
- Next record
- To hitlist
Find more in SwePub
- By the author/editor
- Jonsson, Lars
- Nyberg, Tomas
- Berg, Sören
- Articles in the publication
- Presented at AVS ...
- By the university
- Uppsala University
Search outside SwePub
- Extend your search to:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - National Library Systems
- LIBRIS.kb.se
