Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-434191" >
Orthorhombic Ta3-xN...
Orthorhombic Ta3-xN5-yOy thin films grown by unbalanced magnetron sputtering : The role of oxygen on structure, composition, and optical properties
-
- Chang, Jui-Che (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Eriksson, Fredrik, 1975- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Sortica, Mauricio A. (författare)
- Uppsala universitet,Tandemlaboratoriet,Uppsala Univ, Sweden
-
visa fler...
-
- Greczynski, Grzegorz, 1973- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Bakhit, Babak, 1983- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Hu, Zhangjun (författare)
- Linköping Univ, Dept Phys Chem & Biol IFM, Div Mol Surface Phys & Nanosci, SE-58183 Linköping, Sweden.
-
- Primetzhofer, Daniel (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik,Tandemlaboratoriet,Uppsala Univ, Sweden
-
- Hultman, Lars, Professor, 1960- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Birch, Jens, 1960- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Hsiao, Ching-Lien, 1975- (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Hu, Zhang-Jun, Dr. 1978- (författare)
- Linköpings universitet,Molekylär ytfysik och nanovetenskap,Tekniska fakulteten
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 2021
- 2021
- Engelska.
-
Ingår i: Surface & Coatings Technology. - : Elsevier. - 0257-8972 .- 1879-3347. ; 406
- Relaterad länk:
-
https://doi.org/10.1...
-
visa fler...
-
https://uu.diva-port... (primary) (Raw object)
-
https://doi.org/10.1...
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Direct growth of orthorhombic Ta3N5-type Ta-O-N compound thin films, specifically Ta3-xN5-yOy, on Si and sapphire substrates with various atomic fractions is realized by unbalanced magnetron sputtering. Low-degree fiber-textural Ta3-xN5-yOy films were grown through reactive sputtering of Ta in a gas mixture of N-2, Ar, and O-2 with keeping a partial pressure ratio of 3:2:0.1 in a total working pressure range of 5-30 mTorr. With increasing total pressure from 5 to 30 mTorr, the atomic fraction of O in the as-grown Ta3-xN5-yOy films was found to increase from 0.02 to 0.15 while that of N and Ta decrease from 0.66 to 0.54 and 0.33 to 0.31, respectively, leading to a decrease in b lattice constant up to around 1.3%. Metallic TaNx phases were formed without oxygen. For a working pressure of 40 mTorr, an amorphous, O-rich Ta-N-O compound film with a high O fraction of similar to 0.48, was formed, mixed with non-stoichiometric TaON and Ta2O5. By analyzing the plasma discharge, the increasing O incorporation is associated with oxide formation on top of the Ta target due to a higher reactivity of Ta with O than with N. The increase of O incorporation in the films also leads to a optical bandgap widening from similar to 2.22 to similar to 2.96 eV, which is in agreement with the compositional and structural changes from a crystalline Ta3-xN5-yOy to an amorphous O-rich Ta-O-N compound.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- Ta3N5
- Magnetron sputtering
- XRD
- XPS
- ERDA
- Optical absorption spectroscopy
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Chang, Jui-Che
-
Eriksson, Fredri ...
-
Sortica, Maurici ...
-
Greczynski, Grze ...
-
Bakhit, Babak, 1 ...
-
Hu, Zhangjun
-
visa fler...
-
Primetzhofer, Da ...
-
Hultman, Lars, P ...
-
Birch, Jens, 196 ...
-
Hsiao, Ching-Lie ...
-
Hu, Zhang-Jun, D ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
-
Surface & Coatin ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet
-
Linköpings universitet