onr:"swepub:oai:DiVA.org:kau-27938"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kau-27938" > New large area PECV...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Kenanoglu, Ali (författare)
New large area PECVD-system for a-SiN:H deposition at 13.56 MHz
- Artikel/kapitelEngelska2003
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2003
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kau-27938
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kau:diva-27938URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Fysik Den kondenserade materiens fysik hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Physical Sciences Condensed Matter Physics hsv//eng
- Physics
- Fysik
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Borchert, Dietmar (författare)
- Ballif, Christoph (författare)
- Peters, Stefan (författare)
- Zerres, Thomas (författare)
- Rinio, Markus (författare)
- Huljic, D. M. (författare)
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Kenanoglu, Ali
- Borchert, Dietma ...
- Ballif, Christop ...
- Peters, Stefan
- Zerres, Thomas
- Rinio, Markus
- visa fler...
- Huljic, D. M.
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Den kondenserade ...
- Av lärosätet
- Karlstads universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
