Vertical multiple-slot waveguide ring resonators in silicon nitride

QC20100715
This article describes the first demonstration of ring resonators based on vertical multiple-slot silicon nitride waveguides. The design, fabrication and measurement of multiple-slot waveguide ring resonators with several coupling distances and ring radii (70 mu m, 90 mu m and 110 mu m) have been carried out for TE and TM polarizations at the wavelength of 1.3 mu m. Quality factors of 6,100 and 16,000 have been achieved for TE and TM polarization, respectively.

Marris-Morrini, D. (författare)
Griol, A. (författare)
Gylfason, Kristinn BjörgvinKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7 (författare)
Hill, D. (författare)
Alvarez, J. (författare)
Sohlström, HansKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1b1nduy (författare)
Hurtado, J. (författare)
Bouville, D. (författare)
Cassan, E. (författare)
KTHMikrosystemteknik (creator_code:org_t)

Av författaren/redakt...: Vivien, L.; Marris-Morrini, ...; Griol, A.; Gylfason, Kristi ...; Hill, D.; Alvarez, J.; visa fler...; Sohlström, Hans; Hurtado, J.; Bouville, D.; Cassan, E.; visa färre...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.