Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-124548" >
Integration Of Poly...
-
Errando-Herranz, CarlosKTH,Mikro- och nanosystemteknik
(författare)
Integration Of Polymer Microfluidic Channels, Vias, And Connectors With Silicon Photonic Sensors By One-Step Combined Photopatterning And Molding Of OSTE
- Artikel/kapitelEngelska2013
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
IEEE conference proceedings,2013
-
electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-124548
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-124548URI
-
https://doi.org/10.1109/Transducers.2013.6627092DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20130718
-
We demonstrate a method for the fast and simple packaging of silicon sensors into a microfluidic package consisting of the recently introduced {OSTE} polymer. The microfluidic layer is first microstructured and thereafter dry-bonded to a silicon photonic sensor, in a process compatible with wafer-level production, and with the entire packaging process lasting only 10 minutes. The fluidic layer combines molded microchannels and fluidic (Luer) connectors with photopatterned through-holes (vias) for optical fiber probing and fluid connections. All the features are fabricated in a single photocuring step. We report measurements with an integrated silicon photonic {Mach-Zehnder} interferometer refractive index sensor packaged by these means.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Saharil, FarizahKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1481q3i
(författare)
-
Mola Romero, Albert
(författare)
-
Sandström, NiklasKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1m0o5yh
(författare)
-
Shafagh, Reza Z.KTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1pwebmi
(författare)
-
Wijngaart, Wouter van derKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1wdbont
(författare)
-
Haraldsson, TommyKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1ohdrr6
(författare)
-
Gylfason, Kristinn B.,1978-KTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7
(författare)
-
KTHMikro- och nanosystemteknik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Proceedings of the 2013 17th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (Transducers): IEEE conference proceedings, s. 1613-1616
Internetlänk