Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-47402" >
New diamond nanofab...
New diamond nanofabrication process for hard x-ray zone plates
-
- Uhlén, Fredrik (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
- Lindqvist, Sandra (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
- Nilsson, Daniel (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
visa fler...
-
- Reinspach, Julia (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
- Vogt, Ulrich (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
- Hertz, Hans M. (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
- Holmberg, Anders (författare)
- KTH,Biomedicinsk fysik och röntgenfysik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- American Vacuum Society, 2011
- 2011
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Vacuum Society. - 1071-1023 .- 1520-8567. ; 29:6, s. 06FG03-1-06FG03-4
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The authors report on a new tungsten-hardmask-based diamond dry-etch process for fabricating diamond zone plate lenses with a high aspect ratio. The tungsten hardmask is structured by electron-beam lithography, together with Cl2/O2 and SF6/O2 reactive ion etching in a trilayer resist-chromium-tungsten stack. The underlying diamond is then etched in an O2 plasma. The authors demonstrate excellent-quality diamond gratings with half-pitch down to 80 nm and a height of 2.6 μm, as well as zone plates with a 75 μm diameter and 100 nm outermost zone width. The diffraction efficiency of the zone plates is measured to 14.5% at an 8 keV x-ray energy, and the imaging properties were investigated in a scanning microscope arrangement showing sub-100-nm resolution. The imaging and thermal properties of these lenses make them suitable for use with high-brightness x-ray free-electron laser sources.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- zone plate; reactive ion etching; electron beam lithography; diamond; tungsten; nanofabrication; aspect ratio; x-ray free-electron laser; x-ray optics
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas