Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50521" >
Influence of channe...
Influence of channel width on n- and p-type nano-wire-MOSFETs on silicon on insulator substrate
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Mollenhauer, T (författare)
-
Henschel, W (författare)
-
visa fler...
-
Wahlbrink, T (författare)
-
Heuser, M (författare)
-
Baus, M (författare)
-
Winkler, O (författare)
-
Spangenberg, B (författare)
-
Granzner, R (författare)
-
Schwierz, F (författare)
-
Kurz, H (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2003
- 2003
- Engelska.
-
Ingår i: Microelectronic Engineering. - 0167-9317 .- 1873-5568. ; 67-8, s. 810-817
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The fabrication and characterization of nanoscale n- and p-type multi-wire metal-oxide semiconductor field effect transistors (MOSFETs) with a triple gate structure on silicon-on-insulator material (SOI) is described in this paper. Experimental results are compared to simulation with special emphasis on the influence of channel width on the subthreshold behavior. Experiment and simulation show that the threshold voltage depends strongly on the wire width at dimensions below 100 urn. It is further shown that the transition from partial to full channel depletion is dependent on channel geometry. Finally, an increased on-current per chip area is demonstrated for triple-gate SOI MOSFETs compared to planar SOI devices. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Nyckelord
- double gate
- FinFET
- multi gate
- SOI
- triple gate
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Mollenhauer, T
-
Henschel, W
-
Wahlbrink, T
-
Heuser, M
-
Baus, M
-
visa fler...
-
Winkler, O
-
Spangenberg, B
-
Granzner, R
-
Schwierz, F
-
Kurz, H
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Microelectronic ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan