Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-5824" >
Surface topography ...
Surface topography of microstructures in lithium niobate by digital holographic microscopy
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
2004-04-21
-
IOP Publishing,2004
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-5824
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-5824URI
-
https://doi.org/10.1088/0957-0233/15/5/026DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20100824
-
We report here on the application of digital holographic microscopy as a metrological tool for the inspection and the micro-topography reconstruction of different microstructures fabricated in bulk lithium niobate by differential etching of reversed ferroelectric domain patterned crystals. These structures have a range of applications in optical ridge waveguides, alignment structures, V-grooves, micro-tips and micro-cantilever beams and precise control of the surface quality and topography is required. The technique allows us to obtain digitally a high-fidelity surface topography description of the specimen with only one image acquisition allowing us to have relatively simple and compact set-ups able to give quantitative information on object morphology. The advantages of this technique compared to traditional microscopy are discussed.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Grilli, Simonetta
(författare)
-
Finizio, A.
(författare)
-
Coppola, G.
(författare)
-
Iodice, M.
(författare)
-
Chiarini, M.
(författare)
-
De Nicola, S.
(författare)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Measument science and technology15: IOP Publishing15:5, s. 961-0957-02331361-6501
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas