Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-108193" >
Fast growth rate ep...
Fast growth rate epitaxy on 4((degrees)under-bar) off-cut 4-inch diameter 4H-SiC wafers
-
- Ul-Hassan, Jawad (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Bae, H. (författare)
- Applied Materials Lab., Components R&D Center, LG Innotek Co., Ltd
-
- Lilja, Louise (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Farkas, Ildiko (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Kim, I. (författare)
- Applied Materials Lab., Components R&D Center, LG Innotek Co., Ltd, South Korea
-
- Stenberg, Pontus (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Sun, Jianwu (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Kordina, Olle (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Bergman, Peder (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Ha, S. (författare)
- Applied Materials Lab., Components R&D Center, LG Innotek Co., Ltd, South Korea
-
- Janzén, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Trans Tech Publications, 2014
- 2014
- Engelska.
-
Ingår i: SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2013, PTS 1 AND 2. - : Trans Tech Publications. ; , s. 179-182
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.4...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report the development of over 100 mu m/h growth rate process on 4-inch diameter wafers using chlorinated growth. The optimized growth process has shown extremely smooth epilayers completely free of surface step-bunching with very low surface defect density, high uniformity in thickness and doping and high run to run reproducibility in growth rate, controlled doping and defect density.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Annan materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Other Materials Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Fast epitaxial growth; high growth rate; chlorinated growth; atomic force microscopy
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Ul-Hassan, Jawad
-
Bae, H.
-
Lilja, Louise
-
Farkas, Ildiko
-
Kim, I.
-
Stenberg, Pontus
-
visa fler...
-
Sun, Jianwu
-
Kordina, Olle
-
Bergman, Peder
-
Ha, S.
-
Janzén, Erik
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
och Annan materialte ...
- Artiklar i publikationen
- SILICON CARBIDE ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet