Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-15062" >
Growth and characte...
Growth and characterisation 4H-SiC MESFET structures grown by Hot-Wall CVD
-
- Forsberg, Urban, 1971- (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Henry, Anne (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Rorsman, N. (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
visa fler...
-
Eriksson, J. (författare)
-
- Linnarsson, M. K. (författare)
- Solid State Electronics, Royal Institute of Technology, SE-164 40 Kista, Sweden
-
- Danielsson, Örjan (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
- Storasta, Liutauras (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
- Janzén, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Proc. of the MRS 2000 Fall Meeting. ; , s. H2.3.2-
- Relaterad länk:
-
http://urn.kb.se/res...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Metal semiconductor field effect transistor structures have been grown in a hot-wall CVD reactor. Using trimethylaluminium and nitrogen, p- and n-type epitaxial layers were grown on semi insulating substrates. A comprehensive characterization study of thickness and doping of these multi structures has been performed by using scanning electron microscopy , secondary ion mass spectrometry, capacitance-voltage and low temperature photoluminescence. Optimisation of growth parameters has resulted in very abrupt doping profiles. The grown metal semiconductor field effect transistor structures have been processed and parts of the transistor properties are presented.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik -- Övrig annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies -- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified (hsv//eng)
Nyckelord
- Hot-Wall CVD
- MESFET
- Silicon carbide
- SEM
- SIMS
- Material physics with surface physics
- Materialfysik med ytfysik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)