Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-15066" >
Infrared Reflectanc...
Infrared Reflectance of Extremely Thin AlN Epi Films Deposited on SiC Substrates
-
- MacMillan, Mike F. (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
- Forsberg, Urban, 1971- (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Persson, P.O.Å. (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
visa fler...
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Janzén, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 1998
- 1998
- Engelska.
-
Ingår i: Materials Science Forum Vols. 264-268. ; , s. 649-652
- Relaterad länk:
-
http://www.scientifi...
-
visa fler...
-
http://urn.kb.se/res...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The room temperature reflectance of thin (£ 1000Å) AlN epi-films deposited on n type 6H SiC has been measure. These epi-films are too thin to produce interference fringes, from which epi-films thickness is often extracted, within the measured spectral region. However, features from the AlN reststrahl reflectance band can be clearly seen for AlN epi-films as thin as 250Å. Thicknesses are extracted from the measured spectra by comparing them directly to calculated spectra with the epi-film thickness being the only fitting parameter. The accuracy of these thickness determinations is confirmed by comparing them to thickness measured on samples studied by cross sectional TEM.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik -- Övrig annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies -- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified (hsv//eng)
Nyckelord
- Epi-film Thickness
- Reflectance
- TEM
- Material physics with surface physics
- Materialfysik med ytfysik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)