Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-190931" >
Synthesis, Structur...
Synthesis, Structure, and Thermal Properties of Volatile Group 11 Triazenides as Potential Precursors for Vapor Deposition
-
- Samii, Rouzbeh, 1986- (författare)
- Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
-
- Fransson, Anton (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska fakulteten
-
- Mpofu, Pamburayi (författare)
- Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
-
visa fler...
-
- Niiranen, Pentti (författare)
- Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
-
- Ojamäe, Lars, 1964- (författare)
- Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
-
- Kessler, Vadim (författare)
- Swedish University of Agricultural Sciences,Sveriges lantbruksuniversitet,Institutionen för Molekylära vetenskaper,Department of Molecular Sciences,Swedish Univ Agr Sci, Sweden
-
- O´brien, Nathan (författare)
- Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
-
- 2022-12-14
- 2022
- Engelska.
-
Ingår i: Inorganic Chemistry. - : AMER CHEMICAL SOC. - 0020-1669 .- 1520-510X. ; 61:51, s. 20804-20813
- Relaterad länk:
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
visa fler...
-
https://pub.epsilon.... (primary) (Raw object) (free)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://res.slu.se/i...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Group 11 thin films are desirable as interconnects in microelectronics. Although many M-N-bonded Cu precursors have been explored for vapor deposition, there is currently a lack of suitable Ag and Au derivatives. Herein, we present monovalent Cu, Ag, and Au 1,3-di-tert-butyltriazenides that have potential for use in vapor deposition. Their thermal stability and volatility rival that of current state-of-the-art group 11 precursors with bidentate M-N-bonded ligands. Solution-state thermolysis of these triazenides yielded polycrystalline films of elemental Cu, Ag, and Au. The compounds are therefore highly promising as single-source precursors for vapor deposition of coinage metal films.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas