Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-18759" >
Experimental invest...
Experimental investigation of the electrical properties of atomic layer deposited hafnium-rich silicate films on n-type silicon
-
Dueñas, S. (författare)
-
Castán, H. (författare)
-
Garcia, H. (författare)
-
visa fler...
-
Bailón, L. (författare)
-
Kukli, K. (författare)
-
Ritala, M. (författare)
-
Leskelä, M. (författare)
-
- Rooth, Mårten (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi
-
- Wilhelmsson, Ola (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi
-
- Hårsta, Anders (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AIP Publishing, 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Applied Physics. - : AIP Publishing. - 0021-8979 .- 1089-7550. ; 100:9, s. 094107-
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This work examines the structural and electrical properties of HfSixOy film based metal-insulator-semiconductor capacitors by means of x-ray diffraction, x-ray photoelectron spectroscopy, capacitance-voltage (C-V), deep level transient spectroscopy, and conductance transient (G-t) techniques. Hafnium-rich silicate films were atomic layer deposited onto HF-etched or SiO2 covered silicon. Although as-deposited samples exhibit high interfacial state and disorder-induced gap state densities, a postdeposition thermal annealing in vacuum under N2 flow for 1 min at temperatures between 600 and 730 °C clearly improves the interface quality. Marked crystallization and phase separation occurred at 800 °C, increasing the structural heterogeneity and defect density in the dielectric oxide layers.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- Inorganic chemistry
- Oorganisk kemi
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Dueñas, S.
-
Castán, H.
-
Garcia, H.
-
Bailón, L.
-
Kukli, K.
-
Ritala, M.
-
visa fler...
-
Leskelä, M.
-
Rooth, Mårten
-
Wilhelmsson, Ola
-
Hårsta, Anders
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Appli ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet