Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28703" >
The strength of sur...
The strength of surface micromachined indium phosphide devices evaluated by Weibull analysis of tensile and bending tests
-
- Greek, S (författare)
- Uppsala universitet
-
- Seassal, C (författare)
- Uppsala universitet
-
- Viktorovitch, P (författare)
- Uppsala universitet
-
visa fler...
-
- Hjort, K (författare)
- Uppsala universitet
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- MYU K K, 1999
- 1999
- Engelska.
-
Ingår i: SENSORS AND MATERIALS. - : MYU K K. - 0914-4935. ; 11:4, s. 247-256
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The strength of beams surface micromachined from InP was evaluated by subjecting the beams to bending and tensile tests. The tests were performed with a testing unit mounted on a micromanipulator adapted for an SEM to facilitate in situ testing. The tests
Nyckelord
- tensile strength; bending strength; indium phosphide; Weibull statistics; reactive ion etch
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas