Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-40425" > Selective SiOs to S...
Fältnamn | Indikatorer | Metadata |
---|---|---|
000 | 01944naa a2200373 4500 | |
001 | oai:DiVA.org:uu-40425 | |
003 | SwePub | |
008 | 070302s1998 | |||||||||||000 ||eng| | |
009 | oai:DiVA.org:miun-31607 | |
024 | 7 | a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-404252 URI |
024 | 7 | a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-316072 URI |
040 | a (SwePub)uud (SwePub)miun | |
041 | a eng | |
042 | 9 SwePub | |
072 | 7 | a ref2 swepub-contenttype |
072 | 7 | a kon2 swepub-publicationtype |
100 | 1 | a Schaepkens, M4 aut |
245 | 1 0 | a Selective SiOs to Si3N4 etching in inductively coupled fluorocarbon plasmas |
264 | 1 | c 1998 |
338 | a print2 rdacarrier | |
650 | 7 | a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronikx Annan elektroteknik och elektronik0 (SwePub)202992 hsv//swe |
650 | 7 | a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineeringx Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)202992 hsv//eng |
653 | a Electronics | |
653 | a Elektronik | |
700 | 1 | a Standaert, T E F M4 aut |
700 | 1 | a Reuger, N R4 aut |
700 | 1 | a Oehrlein, G S4 aut |
700 | 1 | a Hedlund, Christer,d 1964-u Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap4 aut0 (Swepub:miun)chrhed |
700 | 1 | a Blom, Hans-Olofu Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap4 aut0 (Swepub:uu)hbl07552 |
700 | 1 | a Cook, J M4 aut |
710 | 2 | a Uppsala universitetb Institutionen för materialvetenskap4 org |
773 | 0 | t The 25th national symposium UNY-VAC, Albany NY |
856 | 4 8 | u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-40425 |
856 | 4 8 | u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31607 |
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy