Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:1a10b8e4-0c2d-433b-b231-debffb1946fe" >
Applications of pla...
Applications of plasma assisted wafer bonding
-
- Amirfeiz, Petra, 1973 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Sanz-Velasco, Anke, 1971 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bring, Martin, 1977 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2002
- 2002
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of the Workshop on wafer bonding, Barcelona, Spain.
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)