Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:48e63df5-f9f5-46fc-a55c-e879c3d8dc86" >
MEMS-based VCSEL be...
-
Hedsten, Karin,1964Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
(författare)
MEMS-based VCSEL beam steering using replicated polymer diffractive lens
- Artikel/kapitelEngelska2008
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:48e63df5-f9f5-46fc-a55c-e879c3d8dc86
-
https://doi.org/10.1016/j.sna.2006.12.015DOI
-
https://research.chalmers.se/publication/68121URI
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-95122URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Anmärkningar
-
Abstract. This paper describes a fully integrated micro-optical system, in which dynamic angular control of the beam from a VCSEL (vertical cavity surface emitting laser) is realized by laterally moving a collimat¬ing diffractive lens in the light path. The lens is mounted on a translatable silicon stage, which consists of a frame with an opening for the light to traverse the lens and electro-statically driven comb actuators, by which the lateral movement is achieved. Devices implementing both 1D and 2D scanning have been fabricated and evaluated. Integration of the lens onto the translatable silicon stage is done using a newly developed fabrication process based on hot embossing of an amorphous fluorocarbon polymer. This fabrication process relies on a reversed-order protocol, where the structuring of the optical element precedes the silicon microstructuring. Assembly and packaging of the VCSEL-MOEMS system, using LTCC (low temperature cofired ceramic) technique, is also demonstrated. Optical evaluation of the system and beam steering function shows significant beam deflection for a relatively low driving voltage (~70 V).
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Melin, Jonas,2005Uppsala universitet,Mikrostrukturteknik
(författare)
-
Bengtsson, Jörgen,1968Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)jorgenb
(författare)
-
Modh, Peter,1968Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)modh
(författare)
-
Karlén, David,1979Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)f98daka
(författare)
-
Löfving, Björn,1970(Swepub:cth)xlofbj
(författare)
-
Nilsson, Richard
(författare)
-
Rödjegård, Henrik,1974
(författare)
-
Persson, Katrin
(författare)
-
Enoksson, Peter,1957Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)enok
(författare)
-
Nikolajeff, FredrikUppsala universitet,Mikrostrukturteknik(Swepub:uu)fni28025
(författare)
-
Andersson, G.
(författare)
-
Chalmers tekniska högskolaMikrostrukturteknik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Sensors and Actuators, A: Physical: Elsevier BV142:1, s. 336-3450924-42471873-3069
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Hedsten, Karin, ...
-
Melin, Jonas, 20 ...
-
Bengtsson, Jörge ...
-
Modh, Peter, 196 ...
-
Karlén, David, 1 ...
-
Löfving, Björn, ...
-
visa fler...
-
Nilsson, Richard
-
Rödjegård, Henri ...
-
Persson, Katrin
-
Enoksson, Peter, ...
-
Nikolajeff, Fred ...
-
Andersson, G.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
-
Sensors and Actu ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola
-
Uppsala universitet