Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:a945f93d-4476-46d3-bafe-845e6434bb7e" >
Plasma assisted low...
Plasma assisted low temperature wafer bonding: void formation in the oxide free interface
-
- Amirfeiz, Petra, 1973 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Sanz-Velasco, Anke, 1971 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
(creator_code:org_t)
- 2003
- 2003
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of the 7th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, Paris, France (2003).
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)